| 启明系列小型电阻蒸发镀膜仪 | 1 | | 菲优姆 | QM-1A | 是 | 按行业标准提供服务,提供设备生产厂家出具的售后服务承诺书 | 1 腔室尺寸：Ф246×228mm，1Cr18Ni9Ti优质不锈钢材质，氩弧焊接；2 样品台尺寸：可拆卸式，尺寸60×60mm，旋转：0-20r/min可调；3 真空系统：机械泵（TRP-12，3L/s）+Pfeiffer分子泵(Hipace80,67L/s)；GDC-25b电磁挡板阀；4 极限真空：8.0×10-5Pa；5 真空抽速：大气～8×10-4Pa ≤ 20min；6 真空测量：全量程复合真空计，测量范围：105Pa～10-5Pa；7 蒸发源：3组电阻蒸发源，3组间可切换，源间有防污板；8 蒸发电源：直流蒸发电源1台，0 W～2000W连续可调，供3组蒸发源切换使用；9 膜厚控制系统：采用进口Inficon SQM160 单探头，精度0.1?；9控制方式：PLC+触摸屏智能控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障自检、保养维护提示等功能；10设备外形：L51.7cm×W53.6cm×H74.5cm机电一体化机架，预留1个KF40和一个CF35法兰接口； 11 设备供电总功率≤2KW，220V，单相三线制（一火一零一地）；12 冷却循环系统：水压0.2～0.4MPa，水温10～25℃，给设备相关需水冷部件提供稳定的制冷水；配置：主要配置真空腔室 Ф246×228mm，1Cr18Ni9Ti优质不锈钢分子泵 进口Pfeiffer分子泵 67L/s前级泵 合资机械泵TRP-12,3L/s真空规 全量程真空规，105Pa～10-5Pa蒸发源 电阻蒸发源（兼容金属与有机蒸发）3组，可切换使用蒸发电源 2000W直流蒸发电源1台，供3组蒸发源切换使用控制系统 PLC+触摸屏智能控制系统1套冷水机 冷却循环水机1套膜厚仪 进口Inficon SQM160 1套前级阀 GDC-25b电磁挡板阀1套充气阀 Φ6mm，电磁截止阀1套基片台 可拆卸式60×60mm，旋转：0-20r/min可调真空管路 波纹管、真空管道等1套设备机架 机电一体化预留接口 KF40一个，CF35一个辅件备件 CF35铜垫圈及氟密封圈全套等 | 无 |
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