VNX E 和 EX 系列膜堆用于微电子行业
IONPURE® VNX55EX-2 大流量膜堆采用经过验证的连续电去离子（CEDI）技术生产高纯水。专门针对微电子行业所需的超纯水而优化设计。
VNX55-EX 工业型膜堆的名义流量是55 gpm (12.5 m3 /hr)。通过在系统中并联多个 VNX55-EX膜堆可以使单套系统出力达到甚至超过228 m3/h (1,000 gpm)。
VNX55-EX 工业型膜堆的名义流量是55 gpm (12.5 m3 /hr)。通过在系统中并联多个 VNX55-EX膜堆可以使单套系统出力达到甚至超过228 m3/h (1,000 gpm)。
VNX-E 还是 VNX-EX? VNX-E 还是 VNX-EX: 哪一款膜堆更合适?
IonPURE 品牌为满足不同的超纯水需求提供多种解决方案，包括VNX-E和VNX-EX系列。专门为微电子行业而设计，VNX-E 的进水水质更好。此外，它可以达到更高的回收率（高达99%）。
VNX-EX 为上游采用两级反渗透系统而设计。与VNX-E系统不同，EX膜堆可以去除更多的污染物。因此，它的性能更加优越。它可以更多的去除微电子行业感兴趣的物质，比如硼和硅。
运行参数
VNX55-EX |
VNX55-E |
|
| 回收率 | 95-97.5% | 98.5-99% |
| 产水电阻率* 二级RO产水 |
> 17.5 MΩ-cm | > 17 MΩ-cm |
| 产水电阻率* 去离子水 |
> 18MΩ-cm | > 18 MΩ-cm |
| 硅 (SiO2) 去除率 | 99% | >95% |
| 硼 (B) 去除率 | 99% | >95% |
| 钠 (Na) 去除率 | >99.9% | 99.8% |
| 氯 (Cl) 去除率 | >99.9% | 99.8% |