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VNX E 和 EX 系列膜堆用于微电子行业

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更新: 2018-11-14
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公司基本资料信息
 

VNX E 和 EX 系列膜堆用于微电子行业

IONPURE® VNX55EX-2 大流量膜堆采用经过验证的连续电去离子(CEDI)技术生产高纯水。专门针对微电子行业所需的超纯水而优化设计。

VNX55-EX 工业型膜堆的名义流量是55 gpm (12.5 m3 /hr)。通过在系统中并联多个 VNX55-EX膜堆可以使单套系统出力达到甚至超过228 m3/h (1,000 gpm)。

 

VNX-E 还是 VNX-EX? VNX-E 还是 VNX-EX: 哪一款膜堆更合适?

IonPURE 品牌为满足不同的超纯水需求提供多种解决方案,包括VNX-E和VNX-EX系列。专门为微电子行业而设计,VNX-E 的进水水质更好。此外,它可以达到更高的回收率(高达99%)。


VNX-EX 为上游采用两级反渗透系统而设计。与VNX-E系统不同,EX膜堆可以去除更多的污染物。因此,它的性能更加优越。它可以更多的去除微电子行业感兴趣的物质,比如硼和硅。 

 

运行参数

 

​VNX55-EX

VNX55-E

​回收率  ​95-97.5% ​98.5-99%
​产水电阻率*  
二级RO产水
​> 17.5 MΩ-cm​​ > 17 MΩ-cm​​
​​产水电阻率*  
去离子水
> 18MΩ-cm​​ > 18 MΩ-cm​​
​硅 (SiO2) 去除率 99% ​>​95%
​硼 (B) 去除率 ​​99%​ ​>​95%
钠 (Na) 去除率 >99.9% 99.8%
氯 (Cl) 去除率 ​>​99.9%​​ 99.8%
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